HQ-RTS-L系列 紅外光學(xué)溫度計(jì)
HQ-RTS-L系列 紅外光學(xué)溫度計(jì)
HQ-RTS-L系列在控制晶圓之間溫度和薄膜厚度的均勻性方面具有更高優(yōu)勢。
HQ-RTS-L紅外溫度計(jì)采用高度敏感的電子器件及光學(xué)系統(tǒng)，可以使用更短波長的探測器來測量輻射能，減少了晶圓透射及發(fā)射率造成的誤差。此外，紅外溫度計(jì)的高速采集和高分辨率對于控溫和噪聲抑制起到很好的作用，進(jìn)而對晶圓溫度監(jiān)控和生產(chǎn)工藝的提升能得到很好的幫助。
應(yīng)用案例
性能參數(shù)
