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紅外光學(xué)溫度計(jì)是一種測(cè)量光并通過(guò)校準(zhǔn)以指示溫度的設(shè)備。紅外光學(xué)溫度計(jì)檢測(cè)來(lái)自熱物體的輻射通量，并利用普朗克黑體輻射方程算法來(lái)計(jì)算物體的表面溫度。所用的算法是基于普朗克黑體輻射方程。
紅外光學(xué)溫度計(jì)通過(guò)測(cè)量物體輻射的紅外能量來(lái)計(jì)算物體的表面溫度。半導(dǎo)體行業(yè)的紅外溫度計(jì)主要應(yīng)用于晶體生長(zhǎng)階段，分為Si探測(cè)器、銦鎵砷探測(cè)器以及熱電堆探測(cè)器三種。從測(cè)溫原理上分為比色和單色，從光通形式分為透鏡型及光導(dǎo)型。
和其光電HQ-RTS系列紅外溫度計(jì)可應(yīng)用于MOCVD、氧化擴(kuò)散爐、PVD、CVD、ALD等半導(dǎo)體設(shè)備，具有高精準(zhǔn)度、高重復(fù)性、高可靠性、可定制、技術(shù)支持快速響應(yīng)等諸多優(yōu)勢(shì)。

HQ-RTS-P 系列高精度紅外測(cè)溫儀具有很高的信噪比。能夠以及高精度測(cè)量較低的溫度來(lái)控制工藝過(guò)程。
HQ-RTS-P系列采用藍(lán)寶石光棒（即“光管”）作為鏡頭收集來(lái)自目標(biāo)的紅外輻射，光管鏡頭的優(yōu)點(diǎn)是可提供較低的溫度測(cè)量值，并易于集成到通常用于高級(jí)材料沉積（生長(zhǎng)）和刻蝕（去除）工藝的真空反應(yīng)設(shè)備。